SK하이닉스, ASML에 EUV 장비 12조원 규모 대량 구매

SK하이닉스가 24일 이사회를 열어 네덜란드 ASML로부터 11조9497억원 규모의 극자외선(EUV) 노광장비를 구매하기로 결정했다. 장비는 내년 말까지 2년여에 걸쳐 순차적으로 인도될 예정이며, 이는 2021년 2월 이후 5년여 만의 대규모 공시다.

EUV 장비는 반도체 웨이퍼에 미세한 회로도를 그리는 포토 공정의 핵심 장비로, ASML이 독점 생산하고 있다. 이번에 들여오는 장비는 올해 가동을 앞둔 청주 반도체 공장(M15X)과 내년 2월 클린룸을 여는 용인 반도체 클러스터 1기 팹에 투입될 전망이다.

하이닉스는 이를 통해 인공지능 메모리(HBM) 생산 능력을 확대하고, 디램 생산에 10나노미터급 6세대 공정 적용을 가속화할 것으로 예상된다. 용인 1기 팹에는 2030년 말까지 추가로 21조6천억원의 신규 시설 투자비도 집행할 계획이다.