전북대 연구팀, 전자빔으로 페로브스카이트 전기 특성 조절

전북대 물리학과 김성헌·진경환 교수 연구팀이 전자빔을 이용해 차세대 반도체 소재인 페로브스카이트 박막의 특정 영역만 정밀하게 조절하는 기술을 개발했다.

연구팀은 서울대 이진욱 교수 연구팀과 공동연구를 통해 마이크로미터 수준에서 일함수를 조절하는 데 성공했다. 전자빔의 가속 전압과 조사 시간을 조절해 표면에 요오드 관련 결함을 형성했고, 이를 통해 전자빔을 쏜 영역과 그렇지 않은 영역 사이에 약 0.62V의 전압 차이를 만들었다.

이번 기술은 화학약품이나 추가 공정 없이 원하는 위치의 전기적 특성을 바꿀 수 있어 고성능 센서와 집적회로 등 차세대 소자 개발에 활용될 것으로 기대된다.