엘오테크, 모듈형 ALD 장비와 Physical AI 솔루션 개발

엘오테크는 모듈형 원자층 증착(ALD) 장비와 Physical AI 기반 공정·정비 예측 솔루션을 개발하는 반도체 공정 장비 전문기업이다. 히터, 챔버, 전구체 공급부 등을 모듈화해 특정 부품만 선택적으로 교체·개조할 수 있으며, 장비 다운타임과 유지보수 비용을 대폭 줄일 수 있다.

국내 반도체 팹 외 영역에서는 체계적인 유지보수 서비스가 부족한 상황 속에서 엘오테크는 이러한 미충족 수요를 해결하기 위해 설립됐다. 장비 내부의 온도·진공·유량 등 핵심 공정 데이터를 수집·축적해 이상 감지와 예지정비, 공정 역설계가 가능한 반도체 특화 Physical AI 기술로 확장하고 있다.

엘오테크는 ALD 장비 납품과 미국 반도체 부품 수출 실적을 확보하며 초기 상용화에 나서고 있다. 장비·데이터·AI를 연결한 Physical AI 기반 반도체 장비 전문기업으로의 성장을 목표로 하고 있다.