DB하이텍, MEMS 공정 장비 3대를 국가 나노팹에 기증

DB하이텍이 MEMS 공정용 반도체 장비 3대를 국가 나노팹 연구기관에 기증했다. 6일 충북 음성 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부, 모아팹 관계자들과 협약식을 열고 초미세 반도체 공정 설비를 나노종합기술원과 나노융합기술원에 설치하기로 했다.

이전되는 장비는 실리콘 웨이퍼 위에 미세 회로를 형성하고 박막 증착, 식각 공정을 수행해 3차원 구조를 구현하는 핵심 설비다. 이는 연구개발 단계의 공정 구현과 시제품 제작에 활용되며 산학연 연구진의 시제품 제작 환경 개선에 기여할 전망이다.

정부의 국가 나노팹 연계 사업 일환으로 추진되는 이번 지원은 국내 시스템반도체 경쟁력 확보를 위한 공공 연구 인프라 강화에 중요한 역할을 할 것으로 기대된다.