DMS, 반도체 유리기판 세정장비 시장 도전

디스플레이 세정 기술을 보유한 DMS가 2026년 10월 19일 반도체 유리기판 세정장비 시장에 진출한다고 밝혔다. 첫 공략 대상은 첨단 반도체 패키징에 쓰이는 유리기판이며, 한국과 대만 대기업과 연내 첫 수주 계약을 추진하고 있다.

DMS는 유리관통전극(TGV) 공정 전후의 이물질을 제거하는 장비를 개발했으며, 화학약품과 온도, 물리적 세정 방식을 조합해 좁고 깊은 구멍 안의 잔여물을 제거하는 해법을 확보했다. 1999년 설립된 DMS는 2001년 고집적 세정장비를 국내 최초로 개발했고 관련 특허를 약 300건 보유하고 있다.

DMS는 LG전자 출신 정수화 대표를 영입해 인쇄회로기판과 웨이퍼 기반 반도체 전공정용 습식 장비로 영역을 넓힐 계획이다. 디스플레이 장비를 안정적인 수익원으로 삼아 유리기판 시장의 표준을 세우는 것이 목표라고 밝혔다.