나유타, 국내 최초 300mm 글라스 웨이퍼 검사 시스템 개발

나유타가 AI 반도체용 HBM 제조에 필수적인 300mm 글라스 캐리어 웨이퍼 검사 시스템을 국내 최초로 개발했다.

이 '듀얼 방식 다기능 웨이퍼 검사 시스템'은 한 대의 장비에서 두께, 휨, 크랙, 스크래치 등 7가지 결함을 정밀 측정하며 최소 1㎛ 크기의 미세 이물질까지 검출한다. AI 이미지 분석 기술을 적용해 결함의 불량 여부와 유형을 자동 판별하는 기능도 갖췄다.

청주 생산기지에서 전 공정을 자체 기술로 수행하는 나유타는 국내 반도체 공급망 고도화에 기여할 것으로 예상된다.