중국, 자체 개발 DUV 노광장비 양산 시작

중국이 반도체 생산 핵심 장비인 액침식 심자외선(DUV) 노광장비를 자체 개발해 올해 안에 SMIC, 화훙반도체, 창신메모리 등에 납품할 예정이다. 미국의 첨단 노광장비 수출 제한 속에서 중국이 반도체 생산 자립에 한 발 더 다가섰다는 평가가 나온다.

중국은 올해 약 5대를 생산하고 2027년에는 연간 20대로 늘릴 것으로 예상된다. 중국산 장비는 네덜란드 에이에스엠엘(ASML) 제품 대비 성능과 신뢰성 면에서 격차가 있으며, 양산 공정 투입 전 추가 시험과 조정이 필요한 상황이다.

중국은 여전히 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하지 못하고 있어 당분간 선도업체들의 기술적 우위가 이어질 것으로 보인다. 다만 미국의 수출 통제에 따른 장비 공백을 일부 메울 수 있을 것으로 전망된다.