강원대 실리노바, 반도체 식각 기술로 3차원 커패시터 개발

강원대학교 교원창업 스타트업 실리노바는 반도체 식각 기술을 활용해 차세대 3차원 실리콘·유리 커패시터를 개발 중이다. 기존 적층세라믹커패시터(MLCC)의 온도 변화와 고주파 환경에서의 성능 저하 문제를 보완하고, 유리를 활용해 방산과 우주항공 등 극한 환경 부품 시장을 공략한다.

실리노바는 유리 기판에 미세하고 깊은 구조를 형성하는 자체 식각 기술로 저가의 유리 커패시터를 개발하고 있다. 강원대학교의 클린룸과 반도체 장비를 활용한 산학협력 방식으로 초기 투자 부담을 줄이고, 앵커사업단의 사업개발 역량 지원을 받고 있다.

실리노바는 장기적으로 유리 관통전극(TGV), 유리 인터포저, 식각 공정 서비스 등으로 사업을 확장할 계획이다. 자체 식각 기술을 기반으로 반도체 소재와 부품, 장비를 아우르는 기업으로 성장하겠다는 목표를 밝혔다.